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    气相沉积设备LPCVD MM650
     
    低压化学气相沉积设备,工艺成熟，稳定，较早用于TOPcon电池量产的LPCVD设备。

     

     

    产能：

    9400PCS/小时@182*182电池

    产线平均良率较高，镀膜均匀性好；
    自有专利的布气系统，增加了流场均匀性和可控性

    +86-0510-81816658

    sales@zbfj666.com

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